首頁 Technologies& ProductCIGS太陽能電池
CIGS Solar Cell  Equipment Overview
CIGS薄膜太陽能電池是目前薄膜電池中製作成本較低、轉換效率最高者。Dalux自2004年起投入CdS沉積製程設備之研發,提供CIGS薄膜太陽能電池整廠設備,並能夠規劃每年30MW的太陽能電池產出。


DALUX Perfornmence
  • 2005          DALUX已有數十組 RTR-CdS 塗佈系統出貨至世界各地,客戶以美國區域為主
  • 2006          3條CIGS on Glass 產線(CBD & KCN)於客戶廠房安裝完成
  • 2009          DALUX廢水處理系統於CIGS廠房全線運作
  • 2010          全球約有200MW/a的CIGS-PV產能為DALUX系統所生產
 

 
Typical CIGS Structure
 
  • 在濺鍍背電極層(Mo)前,基板經由清洗後,可大幅降低表面接觸角,以確保後段濺鍍的品質。
  • 在沉積CdS薄膜前,可經由KCN在CIGS表面上微蝕刻,來降低CIGS表面的粗糙度,即可減少後續CBD製程中,所產生的孔洞(pin hole)。
  • 設備是利用化學浴沉積(CBD)技術於CIGS/Glass 和 CIGS/Foil上製備CdS奈米級薄膜。
  • 在鍍膜過程中,設備可藉由調整流速、濃度與溫度分布來控制CdS薄膜厚度與均勻性。